关键参数: (1)分辨率:3um (2)最高电压:130kv (3)测量精度:5um+L/50 特点: (1)最小空间布局占地; (2)一键式CT操作 (3)小型零件 主要应用领域: (1)3C领域; (2)半导体; (3)增材制造
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